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Park NX20 300mm原子力顯微鏡

簡要描述:Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng)新型大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機(jī)動化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì),可有效地檢測整個(gè)300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動XY工作臺,但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS,通常是0.3 Å RMS的水平。

  • 更新時(shí)間:2024-09-12
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 訪  問  量: 1821

詳細(xì)介紹

Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng)新型大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機(jī)動化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì),可有效地檢測整個(gè)300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動XY工作臺,但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS,通常是0.3 ? RMS的水平。


可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

·支持200mmx200mm300mmx300mm的全自動原子力顯微鏡

·無需手動移動樣品即可實(shí)現(xiàn)樣品上每個(gè)點(diǎn)的精密測量

·Park NX20300 mm是專為失效分析和質(zhì)量品控設(shè)計(jì)

·工業(yè)測試軟件可以實(shí)現(xiàn)樣品的全自動化批量測量,使得NX20檢測過程變得高效易用



專為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì),可達(dá)到大樣品的高精度測量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個(gè)全新的自動化測量范圍,讓工程師可以更快捷、更簡便、更精準(zhǔn)地開展工作。


靈活的300mm樣品吸盤

Park NX20 300mm原子力顯微鏡


Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓,讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。


300mm XY軸工作臺

Park NX20 300mm原子力顯微鏡


機(jī)動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動原子力顯微鏡的測量位置。


針對廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化

Park NX20 300mm原子力顯微鏡為眾多應(yīng)用提供自動格式的原子力顯微鏡測量,為納米級的樣品提供精準(zhǔn)測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量,缺陷檢查,電氣和磁故障分析,熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力,該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。

Park NX20 300mm原子力顯微鏡






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